SLC
Charakteristik eines sicheren Starts
Bei diesen Festlegungen handelt es sich um Merkmale, die nur während der Hochlaufphase eines Prozesses genauer überwacht werden. Sie sollen dazu dienen, genauere Kenntnis über das Verhalten des Prozesses und / oder eines Werkzeugs zu erhalten. Auf Grund dieser Erkenntnisse kann so zum Beispiel die zukünftige Stichprobenhäufigkeit bei neuen Anwendungsfällen bestimmt werden.
Safe Launch Characteristic
These specifications are features that are only monitored more closely during the start-up phase of a process. They are intended to provide more precise knowledge about the behavior of the process and/or a tool. Based on this knowledge, for example, the future sampling frequency for new applications can be determined.